新型法碼重力式斜楔面壓合夾持循環機構 New Type TDO Gravity tenter system

TDO Gravity tenter component (重力式斜楔面壓合夾持循環機構)

 1.以重力(法碼)固定重量方式將以轉向下TDO橫向張力維持一定張力幅且不需要任何感應裝置，所以建置成本最低。

  2.當ITO膜於烘烤階段時，溫度會因各區段溫升而有不同現象，重力(法碼)能可靠有效 給予固定張力，機電裝置受溫度影響而產生故障失效的機率高。

特點:

 1.對ITO膜以凸輪軸承槽軌產生機構循環，夾持方式是首先以內側斜楔面材質陶瓷靜電吸盤(ALN Ceramic ESC Electro static Chuck)如圖 1說明，以導引槽導引趨近內側斜楔面後再給予ITO膜穩定的靜電貼面捉吸附住， 直循環至機構的重力法碼處時，靜電產生器才停止給與消失靜電。

 2.在本機構設計中是以外側槽軌斜楔面夾持段外端掛上重力法碼1.5KG ＋彈簧反作用力，以產生 TDO 向下橫向張力及斜楔面壓合夾持力，如圖 示2 & 3 說明。

   

新型式機構說明：

法碼重力型式斜楔面壓合夾持循環機構 

圖 1 靜電吸盤 Electro static Chuck ESC

靜電吸盤 ESC 吸附原理

   加在下電極的直流電壓，使得在其上的介電層 (dielectric layer) 產生靜電力而吸附晶片/ITO Glass等，而電壓持續作用的結果，使得下電極的電荷會通過介電層而聚集在介電層的表面，聚集和極化的速度和此覆蓋層上的電阻有關，一般而言，介電層愈厚，對於晶片的吸附力會較小，且熱移除的效率也會較差，靜電吸盤依其電極形狀構造可分為平行板電容，積體型電極，共平面電極三種形式。

基本分為兩類 :

1、庫侖類 (純電介質如Epoxy有機材料或鋁陽極氧化層做成的吸盤為庫侖類)。
2、Johnsen-Rahbek類 (參雜電介質如ALN/SiC等陶瓷材料做成的吸盤)。

重力法碼1.5KG＋彈簧反作用力

重力式楔斜面壓合夾持循環機構 圖示 2

ITO Film  W 640 mm

重力式楔斜面壓合夾持循環機構 圖示 3